随着VOCs废气处理设备的改进升级，废气处理效率得到大大提高，出于加快大气污染治理进程的目的，之前使用较多的UV光氧加活性炭吸附设备逐渐被淘汰下来，催化燃烧设备（RCO）和蓄热燃烧设备（RTO）被越来越多的企业所采用。
UV光氧加活性炭吸附设备的废气处理效率在92%左右，其中UV光氧设备的净化效率是50%~70%，主要还是靠活性炭吸附设备来处理，净化后的废气存留在活性炭中，需要再做危废处理。
催化燃烧设备的废气处理效率是95%左右，治理达标没有问题，且净化后的废气经催化燃烧分解为二氧化碳和水蒸汽清洁排放，几乎没有额外污染。
蓄热燃烧设备的废气处理效率是98%左右，常用于制药厂、化工厂等废气成分复杂的生产工艺中，废气经过高温分解，同样以二氧化碳和水蒸汽的形式清洁排放到大气中。
从废气处理效果上来看，催化燃烧设备和蓄热燃烧设备更符合环保要求，也因此得到众多企业的青睐。
催化燃烧设备在废气处理中性能稳定、效果显著，并且投资成本比蓄热燃烧设备要低很多，是众多中小型企业乐于采用的废气处理设备。
